자료유형  

 단행본

 

04530436

ISBN  

9788980006991(v.1) 93560 : \22000

KDC  

569.4-4

청구기호  

569.4 이836ㅂ

저자명  

이인호

서명/저자  

반도체 전공정장비 = Semiconductor frontend processing equipment : NCS 학습 모듈 적용 도서 / 이인호 [외]저. 1

발행사항  

서울 : D B Info, 2014

형태사항  

367 p : 삽도, 도표 ; 26 cm

서지주기  

각 장마다 참고문헌 수록

키워드  

반도체 전공정장비 반도체장비 NCS

기타저자  

이현배

기타저자  

김진석

기타저자  

김용태

기타저자  

황성진

기타저자  

원영진

기타저자  

성홍석

기타저자  

김덕영

기타저자  

임준우

기타저자  

송화수

기타서명  

Semiconductor frontend processing equipment

기타서명  

NCS 학습 모듈 적용 도서

가격  

\22000

Control Number  

yscl:115751

책소개  

반도체 생산 공장에서 운영되고 있는 첨단의 반도체 장비가 최적의 운영상태가 되도록 하기 위하여 반도체 장비를 유지/점검하고, 고장을 방지하기 위한 사전 예방활동 등을 수행하며 나아가 장비를 직접 운용·조립하는 업무 등을 수행할 수 있도록 실무 지식 및 기술에 관한 이론과 실습으로 구성된 교재이다.

반도체 전공정장비 1 교과는 반도체 생산순서 중 앞부분에 위치하는 노광(포토)공정, 트랙공정, 식각(에칭(공정), 에싱공정, 그리고 각 단계마다 생산품의 이상 유무를 판단하는 측정장비 등 산업체에서 사용되는 중요 반도체 장비의 실무를 익힐 수 있도록 구성하였다.