자료유형  

 단행본

 

04530426

ISBN  

9791186333402 93560 : \14000

KDC  

569.4-4

청구기호  

569.4 이698ㅂ

저자명  

이병철

서명/저자  

반도체 장비 재료 = Materials of semiconductor equipment / 이병철 ; 김덕영 ; 성홍석 공저

발행사항  

서울 : DBInfo, 2015

형태사항  

229 p : 삽도, 도표 ; 26 cm

서지주기  

참고문헌 수록

키워드  

반도체장비재료 반도체장비

기타저자  

김덕영

기타저자  

성홍석

기타서명  

Materials of semiconductor equipment

가격  

\14000

Control Number  

yscl:115742

책소개  

▶이 책은 반도체 장비 재료를 다룬 이론서입니다. 반도체 장비 재료의 기초적이고 전반적인 내용을 학습할 수 있도록 구성했습니다.