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반도체 장비 재료 = Materials of semiconductor equipment
- 자료유형
- 단행본
- 04530426
- ISBN
- 9791186333402 93560 : \14000
- KDC
- 569.4-4
- 청구기호
- 569.4 이698ㅂ
- 저자명
- 이병철
- 서명/저자
- 반도체 장비 재료 = Materials of semiconductor equipment / 이병철 ; 김덕영 ; 성홍석 공저
- 발행사항
- 서울 : DBInfo, 2015
- 형태사항
- 229 p : 삽도, 도표 ; 26 cm
- 서지주기
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김덕영
- 기타저자
- 성홍석
- 기타서명
- Materials of semiconductor equipment
- 가격
- \14000
- Control Number
- yscl:115742
- 책소개
-
▶이 책은 반도체 장비 재료를 다룬 이론서입니다. 반도체 장비 재료의 기초적이고 전반적인 내용을 학습할 수 있도록 구성했습니다.
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