자료유형  

 단행본

 

04530434

ISBN  

8985437186 93560 : \28000

ISBN  

9788985437189 93560 : \28000

KDC  

569.4-4

청구기호  

569.4 이956ㅂ2

저자명  

이형옥

서명/저자  

(집적회로 제조를 위한) 반도체 공정 및 장치기술 / 이형옥 저

발행사항  

서울 : 상학당, 2005

형태사항  

535 p : 삽도 ; 26 cm

서지주기  

참고문헌: p. [529]-530

키워드  

집적회로 반도체제조장치 반도체공정

가격  

\28000

Control Number  

yscl:115749