자료유형  

 단행본

청구기호  

567.4 이956ㅂ

저자명  

이형식

서명/저자  

박막프로세스의 기초 / 李亨植 ; 尹尙玉 ; 崔斗鎭 共譯

발행사항  

서울 : 반도출판사, 1999.

형태사항  

172 p. : 삽도 ; 23 cm.

키워드  

박막 박막프로세스 진공장치 플라즈마 프로세스

기타저자  

윤상옥

기타저자  

최두진

가격  

\6000

Control Number  

yscl:30257