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박막프로세스의 기초
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마크정보
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박막프로세스의 기초
자료유형
단행본
청구기호
567.4
이956ㅂ
저자명
이형식
서명/저자
박막프로세스의 기초 / 李亨植 ; 尹尙玉 ; 崔斗鎭 共譯
발행사항
서울 :
반도출판사
, 1999.
형태사항
172 p. : 삽도 ; 23 cm.
키워드
박막
박막프로세스
진공장치
플라즈마 프로세스
기타저자
윤상옥
기타저자
최두진
가격
\6000
Control Number
yscl:30257
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567.4-이956ㅂ
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박막프로세스의 기초
저자
이형식
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567.4 이956ㅂ
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