008070214s2006 ulka 001a kor
■020 ▼a8985437186▼g93560▼c\22000
■090 ▼a569.4▼b이956ㅂ
■1001 ▼a이형옥
■24520▼a(집적회로를 위한)반도체 공정 및 장치기술▼d이형옥 저
■260 ▼a서울▼b상학당▼c2006
■300 ▼a535 p.▼b삽도▼c26 cm
■50000▼a부록: 'n형 도펀트 확산층의 평균 도전율과 도펀트 농도'등
■504 ▼a참고문헌 : p. [529]-530
■504 ▼a색인 수록
■9500 ▼b\22000
■960 ▼a동성수▼b2101023