자료유형  

 단행본

 

04530429

ISBN  

9788980007004(v.2) 93560 : \17000

KDC  

569.4-4

청구기호  

569.4 김781ㅂ

저자명  

김용태

서명/저자  

반도체 전공정장비 = Semiconductor frontend processing equipment : NCS 학습 모듈 적용 도서 / 김용태 [외]저. 2

발행사항  

서울 : D B Info, 2014

형태사항  

275 p : 삽도, 도표 ; 26 cm

서지주기  

각 장마다 참고문헌 수록

키워드  

반도체 전공정장비 반도체장비 NCS

기타저자  

김상용

기타저자  

오찬권

기타저자  

성홍석

기타저자  

김덕영

기타저자  

김덕현

기타저자  

김남훈

기타저자  

김태환

기타서명  

Semiconductor frontend processing equipment

기타서명  

NCS 학습 모듈 적용 도서

가격  

\17000

Control Number  

yscl:115745

책소개  

『반도체 전공정장비』 제2권. 반도체 생산공장에서 운영되고 있는 장비가 최적의 운영상태가 되도록 하기 위하여 유지 점검하고, 고장을 방지하게 위한 사전 예방활동 등을 수행도록 실무 지식을 소개한다. 반도체 공정 장비의 구조 및 기능, 유지보수에 관련된 이론과 기술 등을 배울 수 있다.